電子後方散乱回折（EBSD）サンプルの調製の紹介

回折電子はサンプル表面のわずか数十ナノメートルの範囲からしか出てこないため、電子後方散乱回折（EBSD）のサンプル調整は非常に重要です。

表面付近の材料が変形していたり、汚染されていたり、酸化していたりすると、EBSD 信号が抑制され、解析が失敗することがあります。

多くの材料では、標準的な前処理方法を注意深く使用すると成功する可能性があります。一般的に、標準的な準備方法は、採用された通常のルートから逸脱することなく、最終研磨段階まで進むことができます。その後、コロイダルシリカを用いた研磨工程を追加することで、EBSD に適した仕上がりになります。

しかし、素材によって一般的な準備方法に対する反応が異なり、さらに複合素材はより難しくなっています。

サンプルをマウントした試料ホルダー