電子後方散乱回折 (EBSD) システムのキャリブレーション

電子後方散乱回折 (EBSD) システムは、正しく動作させるためにキャリブレーションする必要があります。この測定では、サンプルからスクリーンまでの距離と、蛍光体スクリーン上のパターン中心の位置までの測定が含まれます（パターン中心とは、サンプルの回折パターンの発生点に最も近いスクリーン上の点です）。

EBSD システムのキャリブレーションには、複数の方法が存在します。望ましい方法は、サンプルの同じ点から、検出器を異なる挿入位置と昇降位置に配置し、異なる作動距離の範囲で回折パターンを収集することです（下図を参照）。画像の相関を利用して、これらの異なる形状におけるパターンの中心を特定し、画像間のズーム率を測定することで、サンプルとスクリーンの間の距離を算出できます。 

最新のEBSD システムでは、このキャリブレーション作業は自動化されています。これらの異なるジオメトリでEBSD パターン（EBSP）を収集し、キャリブレーションマトリックスを作成することで、使用時に常にキャリブレーションされた状態でシステムを使用できます。

EBSD システムの典型的なキャリブレーション手順。パターンの中心は、異なる検出器位置の EBSP に対する特徴を相関させることで見つけ出します。

パターンの中心は、これらのEBSPのズームポイント、つまり検出器が動いても動かないEBSP上の点です。